飞秒激光精密微纳加工系统

GLFs-META系列飞秒加工系统，主要针对于光学超材料/超表面周期性微纳结构加工的设备，可配置空间光调制器进行整形，实现多光束并行加工，提高加工效率，结合大尺寸位移台可实现大尺寸光学器件的加工。该系统可用于光场调控器件，太赫兹波调制器件，等离激元，微透镜，折射元件，三维非线性光子晶体，光栅/达曼光栅等超材料或超表面器件的加工。

GLFs-BMH系列飞秒激光加工系统，主要是针对利用贝塞尔光束技术加工的应用，如微孔加工。该系统配置空间光调制器进行光束整形，通过软件控制，产生的贝塞尔光束可实现高品质、大深径比的微孔加工。系统可应用于如航空航天燃气涡轮叶片上的气膜微孔、 高灵敏度传感器微孔结构、高灵敏器件的通孔制备、柔性电路板、发动机喷油嘴微孔等方面的加工的工艺探索研究。

GENLASER 开发的飞秒激光微纳加工系统，集成度高，体积小；使用轻质高强的工业级铝作为主体结构，保证了系统的稳定性的同时，也更便于运输；光路内置辅助模块，使得系统光更容易定焦，同时也简化了光路的调节。系统配置一体化的软件，操作简单，可以实时观察整个加工过程。加工系统支持各种定制，可满足不同应用的需求。主要应用在光纤光栅，光波导，光学超材料结构，微孔加工等方面，可拓展到其他微纳米结构加工制造，如微流控芯片，光栅，微透镜，柔性传感器，精密切割，材料表面处理等更多应用中。Genlaser开发的激光加工系统几乎可以应用在所有的微加工领域。

GLFs-OFLU系列飞秒加工系统，是主要针对光流控（Optofluidics）应用开发的一款精密加工设备，主要方向是光波导的加工。该系统具有高空间分辨率，可制备亚微米尺寸的超精细波导结构；加工过程更加灵活，针对不同的基材，如玻璃、晶体和光学陶瓷等透明材料，系统可制备二维和三维光波导，也可以实现光波导器件（如分束器、频率转换器和电光调制器等）的加工。

GLFs-FBG 系列飞秒激光加工系统，主要是针对光纤光栅（FBG）及光纤其他微结构加工的设备。具有稳定，操作灵活和高效等特性，设备集成度高，体积小，更方便运输和使用。系统通过一体化软件控制完成加工，不需要使用相位掩模版，有更高的灵活性，可用于逐点（PBP），加工精度可达到亚微米量级。